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          光刻机进场,广州增芯项目进入调试投产准备阶段


            来源: 广州日报 时间:2024-03-12 编辑:清风
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          光刻机进场 开启“芯”动力

          助力广东打造集成电路产业“第三极” 广州增芯项目进入调试投产准备阶段


          3月11日10时40分左右,在广州增芯科技有限公司一期厂房的洁净室内,在光刻区特有的淡黄色的灯光下,身穿防尘服的工作人员正忙着为新搬入的光刻机进行定位。


          当日,增芯科技12英寸先进智能传感器及特色工艺晶圆制造量产线项目(简称“增芯项目”)光刻机搬入活动在项目现场举行,这标志着增芯项目迎来建设的关键性节点,进入调试投产准备阶段。


          正式通线量产指日可待


          项目布局:近年来,增城加快构建以“芯显车”为主导的现代化产业体系,在培育发展集成电路产业方面,相继布局了增芯、越海等一批规模大、能级高、带动力强的骨干项目,覆盖集成电路“四梁八柱”中制造、封测、装备、材料和平台等关键环节。


          增芯项目是广东省、广州市重点项目,打造国内第一条12英寸智能传感器(MEMS)及特色工艺生产线,对增城乃至广州、广东集成电路产业发展具有重要意义。


          当天上午,记者在增芯项目现场看到,伴随着屏幕上光刻机从制造下线到运输送达的纪录片,在全场嘉宾的见证下,承载着光刻机的车辆缓缓启动,将设备运入厂房,完成了增芯项目的重要历史时刻。



          光刻机搬入厂房,进入调试投产准备阶段


          “可以说,光刻机一进场,距离正式通线量产就指日可待。”增芯科技有限公司总经理张亮在现场接受采访时表示,光刻机作为整个集成制造中最关键的核心设备,资金投入占比高达工厂建设25%。


          据张亮透露,此次光刻机的搬入,意味着增芯项目迎来建设的关键性节点,顺利进入调试投产准备阶段。“我们计划在今年6月完成首批设备的安装,今年12月底完成满足良率的产品下线,目前这两个节点正在顺利推进中。”


          增芯项目自2022年底动工起,仅用9个月零6天完成自桩基启动至主厂房封顶建设,实现了“开工一年装机”,封顶至今仅5个多月便迎来了生产线最核心的装备——光刻机,步入设备安装调试阶段,充分展现了敢为人先的“增城速度”“增芯速度”,切实为广州东部中心成型起势提供强支撑、“芯”动力。


          “2021年,我也曾站在这里,拿着手机拍过几张照片,那时还是杂草可齐腰、牛羊在吃草的田园景象。”广州智能传感器产业集团董事长、上海兴橙投资董事长、广州增芯科技有限公司董事长陈晓飞回想三年前项目的场景,充满感慨,“如今,增芯经过了9个月土建封顶,12个月首台套设备搬入,今天更是迎来了工厂最核心设备——光刻机的搬入,我们一步一个脚印,信心满满,充满希望。”


          “这几年,我们抓住集成电路产业这一新质生产力高速发展的时间窗口,在增城国家级开发区,全力以赴规划发展半导体第三极,为高水平科技自立自强注入全新力量。”陈晓飞表示,作为民营企业,决心与产业界的上下游一同打造大湾区的“硅谷”,打造出中国集成电路的又一生态圈。


          做好全链条要素保障


          目前,增城正不断加快建设高端电子信息新材料产业园,加速打造智能传感器产业园,着力推动全产业链条完整集聚,构建粤港澳大湾区的半导体产业聚集区和产业高地,助力广州打造全国集成电路产业集聚区,助力广东打造国家集成电路产业发展“第三极”。


          作为广州半导体与集成电路“一核两极多点”产业格局中重要两极之一,未来,广州市和增城区将全力以赴优化营商环境,继续提供最优质、最便捷、最高效的“全生命周期服务”,大力支持增芯项目建设,做好全链条要素保障,保障顺利投产。


          关键词:广州增芯项目    浏览量:2301

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