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          广州增芯项目搬入光刻机,一期国产装备使用占比超35%


            来源: 羊城派 时间:2024-03-12 编辑:清风
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          3月11日,广州增芯科技有限公司12英寸先进智能传感器及特色工艺晶圆制造量产线项目(以下简称“增芯项目”)在广州增城开发区举行光刻机搬入活动,这标志着增芯项目顺利进入调试投产准备阶段。据了解,该项目预计今年6月份将完成首批设备安装,今年12月底完成第一个有良率的产品下线。

          记者从现场获悉,增芯项目一期计划投资370亿元,自2022年底动工起,仅用9个月零6天完成自桩基启动至主厂房封顶建设,实现了“开工一年装机”,封顶至今仅5个多月便迎来了生产线最核心的装备——光刻机。“这次大家看到光刻机进厂,说明离我们正式通线投产就不远了。”广州增芯科技有限公司总经理张亮说。

          “光刻机是晶圆制造当中最关键的核心装备,我们计划引入多台光刻机,资金投入占到整个工厂建设的25%。”张亮介绍,光刻作为集成电路制造的关键工艺,利用光化学反应原理把实现制备在掩模版上的图形转印到晶圆表面,后续经过蚀刻在晶圆上形成图形,“这台光刻机的速率是非常快的,对我们整个的生产效率提升和稳定起到了非常关键的作用”。

          增芯项目接下来还有哪些关键节点?“在今年通线投产的过程中,我们还将经历产品良率的提升、产能的爬坡等关键步骤,未来希望能在增城打造月产12万片的产能,更好地辐射整个粤港澳大湾区集成电路芯片的需求。”张亮强调,目前国产装备在增芯一期项目里的使用占比超过了35%,希望在二期投产的时候能达到一半以上。

          值得注意的是,在广东打造国家集成电路产业发展“第三极”过程中,增城区正加快构建以“芯显车”为主导的现代化产业体系,在培育发展集成电路产业方面,已相继布局了增芯、越海等一批规模大、能级高、带动力强的骨干项目,覆盖集成电路“四梁八柱”中制造、封测、装备、材料和平台等关键环节。

          文、图 | 记者 许张超


          关键词:增芯项目 光刻机    浏览量:2499

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