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          ASML 首台新款 EUV 光刻机 Twinscan NXE:3800E 完成安装


            来源: IT之家 时间:2024-03-14 编辑:白芷
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          3 月 13 日消息,光刻机制造商 ASML 宣布其首台新款 EUV 光刻机 Twinscan NXE:3800E 已完成安装,新机型将带来更高的生产效率。


          ▲ ASML 在 X 平台上的相关动态


          ASML 官网尚未上线 Twinscan NXE:3800E 的信息页面。

          除了正在研发的 High-NA EUV 光刻机 Twinscan EXE 系列,ASML 也为其 NXE 系列传统数值孔径 EUV 光刻机持续更新升级,未来目标在 2025 年推出 NXE:4000F 机型。


          上两代 NXE 系列机型 3400C 和 3600D 分别适合 7~5、5~3 纳米节点生产,德媒 Computerbase 因此预测 3800E 有望支持 3~2 纳米的尖端制程。


          根据 ASML 此前分享的 2021 版路线图,Twinscan NXE:3800E 系统将相较上代 3600D 在对准精度(Overlay)和产能上进一步提升,可实现 195 片晶圆的每小时吞吐量,相较 3600D 的 160 片大幅提升近 22%,并有望达到 220 片的目标(对应提升 37.5%)。

          关键词:ASML 光刻机 芯片    浏览量:2117

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